根據生產工藝對生產環境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...)，可以分為四種不同的送風系統。① DC供氣系統。 (2)回風供應系統。 (3)一、二次回風送風系統。 ④新風機組(MAU)和循環機組(RCU)送風系統。 其次是空調凈化系統中的空氣分離和送風方式。一種將送風與空調送風分開的方法，以消除室內余熱和濕度，潔凈送風，保證室內潔凈度水平。即消除室內余熱和濕度的空調送風量(約占總送風量的10% ~ 30%)在位于空調機房的空調機組(AHU)或新風機組(MAU)中進行熱濕處理，保證室內溫度和相對濕度，凈化送風量(占總送風量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環，保證室內潔凈度。

潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室的空氣處理方式應通過熱負荷、濕負荷、風量平衡的計算和經濟技術的比較得出，切忌生搬硬套。一般來說，潔凈室的循環風量遠大于新風量，可以實現二次回風，避免冷熱抵消，達到節能的目的。因此，應采用二次回風。二次回風的過程可分為兩種方式:新風承擔全部冷、熱、濕負荷，新風和循環風分別承擔冷、熱、濕負荷。冷、熱、濕總負荷相同，應根據工程具體情況合理采用。對于室內顯熱負荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風溫度與室內溫度的溫差較小，采用新風空調加FFU(風機過濾機組)和干表面冷卻分擔冷熱負荷是節能的。