超純水是為了研制超純資料(半導體原件資料、納米精密陶瓷資料等)運用蒸餾、去離子化、反滲透技能或其它適當?shù)某R界精密技能出產(chǎn)出來的水,不宜飲用。 這樣的水是一般工藝很難到達的程度,應該運用超純水設(shè)備進行制備。專業(yè)的超純水設(shè)備由預處理(多介質(zhì)過濾+超濾設(shè)備)體系+反滲透體系+EDI電除鹽體系+拋光混床體系組成,保證出水水質(zhì)滿足18.2MΩ·cm電子級水產(chǎn)水指標。
半導體業(yè)由于技能發(fā)展迅速、市場變化大,其出產(chǎn)能力具有波動性。所以,要求與之配套的半導體純水體系要有一定的可調(diào)節(jié)性、留有合理的余量,對超純水設(shè)備供水的靈活性,安全性,及時性,提出了更高的要求。萊特萊德半導體純水體系投入運轉(zhuǎn)后,可以出產(chǎn)出合格的電阻率為18MQ *CM的超純水,為半導體用水供給用水保障。
超純水設(shè)備成果英勇的“芯” 芯片制作的每一道工序都離不開超純水,只要水質(zhì)純潔了,才能保證每一步的正常運轉(zhuǎn)。超純水設(shè)備為芯片制作保駕護航。傳統(tǒng)超純水制備工藝一般運用離子交換樹脂,但離子交換樹脂的運用一般需求定期的樹脂再生,這既耗費材料又耗費人力。超純水設(shè)備選用超純水設(shè)備選用反滲透工藝,或選用反滲透后離子交換混床、電去離子EDI工藝或拋光混床出產(chǎn)超純水,以保證出水水質(zhì)符合職業(yè)標準,滿足芯片職業(yè)用水需求,成果英勇的“芯”。