超純水是一種用于半導(dǎo)體制作過程中的洗滌劑。那么,在半導(dǎo)體出產(chǎn)中運用超純水會有什么影響呢?在用納米超精密工藝處理半導(dǎo)體時,假如在各種工藝前后留下一個小顆粒,則會導(dǎo)致差錯。因而,在各種工藝前后用超純水清洗晶圓可以保證清潔度并進步半導(dǎo)體出產(chǎn)率(輸出)。
跟著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷開展,對清潔水的電導(dǎo)率、離子含量、TOC、do和顆粒物的要求越來越嚴(yán)厲。由于超純水在許多指標(biāo)上對半導(dǎo)體的要求很高,因而半導(dǎo)體職業(yè)的超純水與其他職業(yè)的用水要求不同。半導(dǎo)體職業(yè)對超純水有極其嚴(yán)厲的水質(zhì)要求。現(xiàn)在,我國常用的超純水規(guī)范有國家規(guī)范《電子級水》(GB/T 11446.1-2013)和美標(biāo)。 在半導(dǎo)體出產(chǎn)過程中,硼是一種p型雜質(zhì)。過量會使n型硅反轉(zhuǎn),然后影響電子和空穴的濃度。因而,在超純水工業(yè)中應(yīng)充分考慮硼的去除。硼離美標(biāo)中e1.3中要求小于0.05。假如硼離子含量可以到達(dá)較低的指標(biāo),則必然會進步半導(dǎo)體的性能。
集裝箱式海水淡化設(shè)備的優(yōu)勢怎么? 1、集裝箱式海水淡化設(shè)備選用反滲透別離技能進行海水淡化脫鹽,工藝流程和操作參數(shù)經(jīng)過計算機進行優(yōu)化規(guī)劃。 2、海水淡化脫鹽工藝無需海水加溫,運轉(zhuǎn)于常溫下,無相變現(xiàn)象,因而能耗低,制水成本低。 3、規(guī)劃時充分考慮船舶的特殊性,體積小,重量輕,占用省、安裝便利、適應(yīng)性強,可在狹小的艙室內(nèi)安裝。機架管路、管件選用316不銹鋼及耐蝕資料制作。 4、集裝箱式海水淡化設(shè)備操作簡略,修理便利,只需有電、有海水,啟動后就能立即供給淡水。