廢氣達到起燃溫度后進入催化反應床，在催化劑的作用下，有機廢氣發生氧化反應生成無害的水和二氧化碳，并放出一定的熱量，反應后的高溫氣體再次進入熱交換器，經換熱后，以較低的溫度經引風機排入大氣，活性炭吸附脫附特點，該設備原理先進、材料獨特、性能穩定、操作簡便、安全可靠、節能省力，無二次污染，設備占地面積小、重量輕，采用新型的活性炭吸附材料蜂窩狀活性炭與粒狀相比具有優越的動力學性能,極適合于大風量下使用。

當這些氣體（雜質）碰到毛細管被吸附，起凈化作用，當活性炭再生到一定次數后，吸附容量明顯下降，則需要再生或更新活性炭，直接吸附法：有機廢氣經活性炭吸附，可達95%以上的凈化率，設備簡單、投資小，但活性炭更換頻繁，增加了裝卸、運輸、更換等工作程序，導致運行費用增加，催化燃燒設備使用的是表面具有貴金屬或貴金屬氧化物的催化劑（通常是鉑、鈀等貴金屬化合物），可以在較低的溫度下將廢氣中的有機污染物氧化成二氧化碳和水。

常用的方法有吸附法、吸收法、燃燒法、冷凝法、生物法等，選用凈化方法時，應根據具體情況優先選用費用低、耗能少、無二次污染的方法，盡量做到化害為利，充分回收利用成分和余熱，該法特別適用于處理廢氣體積分數在10-2以下的有機蒸汽，主要應用于制藥、化工行業，印刷企業較少采用，吸附劑一般有以下特點：大的比表面、適宜的孔結構及表面結構；對吸附質有強烈的吸附能力；一般不與吸附質和介質發生化學反應；制造方便，容易再生；有良好的機械強度等。