另一方面,濕蝕刻僅是化學(xué)過程,干蝕刻等向性蝕刻與異向性蝕刻同時存在,濕蝕刻:利用化學(xué)藥液將需要蝕刻掉的物質(zhì)蝕刻掉,濕蝕刻為等向性蝕刻,濕蝕刻機臺便宜,蝕刻速度快,但難以jing確控制線寬和獲得極其精細的圖形并且需要大量用水,污染大;干蝕刻機臺價格昂貴,蝕刻速度速度慢,但可以jing確控制線寬能獲得極其精細的圖形,而且不需要用水,污染小,蝕刻工藝是一項工業(yè)應(yīng)用,涉及到我們生活中的全方面應(yīng)用,在工業(yè)制造中是不可缺少的中間工藝,其應(yīng)用領(lǐng)域緊密的以我們生活中的“吃、穿、住、行”為主要應(yīng)用,無論是行業(yè)應(yīng)用,或者是生活生產(chǎn),蝕刻工藝是不可取代,且不可缺失的。
傳統(tǒng)的蝕刻工藝因為存在技術(shù)落后、生產(chǎn)成本高、嚴重的污染問題,guo家在環(huán)保政策的要求下強勢淘汰傳統(tǒng)工藝,整個蝕刻行業(yè)亟需解決行業(yè)升級、技術(shù)換代的問題,且迫在眉睫,蝕刻優(yōu)版創(chuàng)新技術(shù)應(yīng)運而生,微加工過程中有很多加工步驟,現(xiàn)代工藝上,不銹鋼蝕刻板針對高精密、精細化的產(chǎn)品上無法滿足,其蝕刻工藝手段非常適用對精密化產(chǎn)品,比如汽車機械部件、墊片和間隔墊圈、高性能密封墊片、各種過濾網(wǎng)片,電動汽車電池片,汽車喇叭網(wǎng)上均采用蝕刻工藝。
現(xiàn)在可以對涂覆的晶片進行濕法蝕刻以將所需的圖案雕刻到晶片中,各向同性蝕刻,即在所有方向上均相等的蝕刻,是指基材的方向不影響蝕刻劑去除材料的方式,如果允許蝕刻劑反應(yīng)足夠長的時間,如圖1所示,蝕刻劑將蝕刻掉稱為掩模底切的掩模下的基板材料,可以通過在底切掩模前先沖洗掉蝕刻劑,然后在通道上施加光刻膠來避免這種情況,加工出來的產(chǎn)品沒有毛刺,沒有臟污,表面更是光滑,蝕刻加工是其他機械的工藝都無法加工的高精密產(chǎn)品。