中國潔凈廠房建設規模巨大。相關數據顯示,潔凈廠房的能耗是一般辦公樓的10-30倍,凈化空調系統的能耗是一般空調系統的5-15倍。因此,潔凈廠房的節能意義重大。提出了潔凈廠房空調系統工程設計階段可以采取的節能措施,對實際工程具有重要意義。 o導言 當前,中國面臨著經濟社會快速發展、人口增長與資源環境約束之間的突出矛盾。為了使經濟增長可持續并緩解巨大的環境壓力,我們必須以環境友好的方式促進經濟增長。據相關研究報告顯示,2016年中國潔凈室行業市場規模約為900億元,2020年將增至1400億元。潔凈廠房建設規模巨大。而潔凈廠房的能耗是普通辦公樓的10-30倍,凈化空調系統的能耗是普通空調系統的5-15倍,因此潔凈廠房的節能尤為重要。
根據生產工藝對生產環境的不同要求(溫度、濕度、潔凈度、正壓...),可以分為四種不同的送風系統。① DC供氣系統。 (2)回風供應系統。 (3)一、二次回風送風系統。 ④新風機組(MAU)和循環機組(RCU)送風系統。 其次是空調凈化系統中的空氣分離和送風方式。一種將送風與空調送風分開的方法,以消除室內余熱和濕度,潔凈送風,保證室內潔凈度水平。即消除室內余熱和濕度的空調送風量(約占總送風量的10% ~ 30%)在位于空調機房的空調機組(AHU)或新風機組(MAU)中進行熱濕處理,保證室內溫度和相對濕度,凈化送風量(占總送風量的70% ~ 90%)在潔凈室中循環,保證室內潔凈度。
潔凈車間是耗能大戶。據了解,大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦,其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷;凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷;制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中,除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外,冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大,通??烧伎偰芎牡?5% ~ 35%,潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍?十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗