潔凈車間是耗能大戶。據了解，大規模集成電路生產的潔凈車間用電負荷數萬千瓦，其能耗包括:生產設備用電、用熱和用冷；凈化空調系統的耗電量、耗熱量和冷負荷；制冷機組(系統)、排氣裝置及排出氣體所攜帶的冷(熱)負荷的耗電量小于各種氣體和純物質的提取和輸送、耗熱量和耗冷量、公共設施和照明用電量等。潔凈室的能耗是普通辦公樓的10-30倍。 在各種能耗中，除了生產設備因產品品種和生產工藝不同而不同外，冰箱的耗電量在總能耗中所占的比重較大，通常可占總能耗的15% ~ 35%，潔凈室空調系統的冷負荷是一般空調系統的5倍？十五次。 2.2潔凈室空調系統的能耗

潔凈室空調凈化系統的能耗遠大于一般的舒適性空調。隨著凈化水平的提高，潔凈室的空調能耗也急劇增加。潔凈室空調系統主要能耗: (1)為了維持潔凈室所需的溫度和相對濕度，有必要對m線進行必要的熱濕處理(冷卻、除濕、加熱、加濕...)到潔凈室，所以需要向空調凈化系統和蒸汽供應制冷和制熱，消耗大量能源。 (2)為了保證潔凈室的潔凈度、溫度、濕度等參數，必須將大量的空氣送入潔凈室，送風的風機、供水的水泵等動力設備也消耗了相當大的能量。 (3)上述供冷、供熱、供汽所消耗的能源和送風、供水設備所消耗的電力。 (4)潔凈室冷負荷的主要負荷是新風冷負荷，它消除了工藝設備和工藝產生的冷負荷，抵消了風機和水泵產生的冷負荷，而圍護結構、照明和操作人員三者的冷負荷相對較小，有數據顯示其負荷不到高級別潔凈車間總冷負荷的10%。

潔凈室的空氣處理方式應通過熱負荷、濕負荷、風量平衡的計算和經濟技術的比較得出，切忌生搬硬套。一般來說，潔凈室的循環風量遠大于新風量，可以實現二次回風，避免冷熱抵消，達到節能的目的。因此，應采用二次回風。二次回風的過程可分為兩種方式:新風承擔全部冷、熱、濕負荷，新風和循環風分別承擔冷、熱、濕負荷。冷、熱、濕總負荷相同，應根據工程具體情況合理采用。對于室內顯熱負荷大(熱濕比大)、空氣流通量大的潔凈室，由于送風溫度與室內溫度的溫差較小，采用新風空調加FFU(風機過濾機組)和干表面冷卻分擔冷熱負荷是節能的。