在高純氣體中，雜質水常用露點表示。露點是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現露或霜，測量此時的溫度，即為該氣體的露（霜）點。測量其露點溫度便可知氣體濕度值。 露點儀是采用此方法設計的濕度計，具有準確度高，測量范圍寬的特點。高精密露點儀是目前普遍采用的一種標準儀器。

露點儀的測量方法——電解法 就是將干燥劑吸收的水分經電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，通過檢測該電流即可測得樣氣的濕度。該方法彌補了重量法的缺點，測量量程可達-80℃以下，且精度較好，價格便宜;缺點是電解池氣路需要在使用前干燥很長時間，且對氣體的腐蝕性及清潔性要求較高。

露點儀的測量方法——冷鏡法 也是一種經典的測量方法。讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(冷凝鏡上有液滴析出)，測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃;缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生'偽結露'造成測量誤差。