對(duì)于高純氣體，微量水含量是評(píng)價(jià)其質(zhì)量的重要指標(biāo)之一。幾乎所有的高純氣體都對(duì)水分有嚴(yán)格的要求，因?yàn)闅怏w的水分不僅能夠溶解一些氣體組分，而且能夠與某些組分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成酸或堿，腐蝕設(shè)備或儀器，乃至影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。因此，只有準(zhǔn)確測(cè)量和嚴(yán)格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質(zhì)量，從而為各領(lǐng)域研究提供可靠的技術(shù)基礎(chǔ)。 水分子是一種極性較強(qiáng)的分子，不僅容易被容器壁吸附，而且在氣體中的數(shù)量隨溫度和壓力不同變化很大，故氣體中水分的測(cè)定不同于一般組分的測(cè)定，它通常不能和其它組分一起同時(shí)檢測(cè)，所以要使用測(cè)定水分的專(zhuān)用儀器進(jìn)行測(cè)定

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——重量法 是一種經(jīng)典的測(cè)量方法。讓所測(cè)樣氣流經(jīng)某一干燥劑，其所含水分 ** 燥劑吸收，精確稱(chēng)取干燥劑吸收的水分含量，與樣氣體積之比即為樣氣的濕度。該方法的優(yōu)點(diǎn)是精度高，最大允許誤差可達(dá)0.1%;缺點(diǎn)是具體操作比較困難，尤其是必須得到足夠量的吸收水質(zhì)量(一般不小于0.6克)，這對(duì)于低濕度氣體尤其困難，必須加大樣氣流量，結(jié)果會(huì)導(dǎo)致測(cè)量時(shí)間和誤差增大(測(cè)得的濕度不是瞬時(shí)值)。 因而該方法只適合于測(cè)量露點(diǎn)-32℃以上的氣體，可以說(shuō)市場(chǎng)上純粹利用該方法測(cè)濕度的儀器較少。 由以上分析可知，重量法的關(guān)鍵是怎樣精確測(cè)量干燥劑吸收的水分含量，因?yàn)橹苯訙y(cè)量比較困難，由此衍生了兩種間接測(cè)量吸收水含量的方法。

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測(cè)量方法。利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導(dǎo)致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測(cè)量該電容值即可得到樣氣的濕度。