在高純氣體中，雜質水常用露點表示。露點是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現露或霜，測量此時的溫度，即為該氣體的露（霜）點。測量其露點溫度便可知氣體濕度值。 露點儀是采用此方法設計的濕度計，具有準確度高，測量范圍寬的特點。高精密露點儀是目前普遍采用的一種標準儀器。

露點儀的測量方法——振動頻率法 就是將重量法中的干燥劑換用一種吸濕性的石英晶體，根據該晶體吸收水分質量不同時振動頻率不同的特點，讓樣氣和標準干燥氣流經該晶體，因而產生不同的振動頻率差△f1和△f2，計算兩頻率之差即可得到樣氣的濕度。該方法具有電解法一樣的優點，且使用前勿須干燥。

露點儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。