在高純氣體中，雜質(zhì)水常用露點(diǎn)表示。露點(diǎn)是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時(shí)的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測(cè)氣體中的水蒸氣開始出現(xiàn)露或霜，測(cè)量此時(shí)的溫度，即為該氣體的露（霜）點(diǎn)。測(cè)量其露點(diǎn)溫度便可知?dú)怏w濕度值。 露點(diǎn)儀是采用此方法設(shè)計(jì)的濕度計(jì)，具有準(zhǔn)確度高，測(cè)量范圍寬的特點(diǎn)。高精密露點(diǎn)儀是目前普遍采用的一種標(biāo)準(zhǔn)儀器。

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——重量法 是一種經(jīng)典的測(cè)量方法。讓所測(cè)樣氣流經(jīng)某一干燥劑，其所含水分 ** 燥劑吸收，精確稱取干燥劑吸收的水分含量，與樣氣體積之比即為樣氣的濕度。該方法的優(yōu)點(diǎn)是精度高，最大允許誤差可達(dá)0.1%;缺點(diǎn)是具體操作比較困難，尤其是必須得到足夠量的吸收水質(zhì)量(一般不小于0.6克)，這對(duì)于低濕度氣體尤其困難，必須加大樣氣流量，結(jié)果會(huì)導(dǎo)致測(cè)量時(shí)間和誤差增大(測(cè)得的濕度不是瞬時(shí)值)。 因而該方法只適合于測(cè)量露點(diǎn)-32℃以上的氣體，可以說市場(chǎng)上純粹利用該方法測(cè)濕度的儀器較少。 由以上分析可知，重量法的關(guān)鍵是怎樣精確測(cè)量干燥劑吸收的水分含量，因?yàn)橹苯訙y(cè)量比較困難，由此衍生了兩種間接測(cè)量吸收水含量的方法。

露點(diǎn)儀的測(cè)量方法——冷鏡法 也是一種經(jīng)典的測(cè)量方法。讓樣氣流經(jīng)露點(diǎn)冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達(dá)到飽和結(jié)露狀態(tài)(冷凝鏡上有液滴析出)，測(cè)量冷凝鏡此時(shí)的溫度即是樣氣的露點(diǎn)。該方法的主要優(yōu)點(diǎn)是精度高，尤其在采用半導(dǎo)體制冷和光電檢測(cè)技術(shù)后，不確定度甚至可達(dá)0.1℃;缺點(diǎn)是響應(yīng)速度較慢，尤其在露點(diǎn)-60℃以下，平衡時(shí)間甚至達(dá)幾個(gè)小時(shí)，而且此方法對(duì)樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會(huì)影響光電檢測(cè)效果或產(chǎn)生'偽結(jié)露'造成測(cè)量誤差。