目前市面上的露點儀大致可以分為以下幾類： 1、鏡面式露點儀 不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會結(jié)露。采用光電檢測技術，檢測出露層并測量結(jié)露時的溫度。 2、冷鏡式露點儀 直接顯示露點。鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷高效率和精密測量結(jié)露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。目前國際上最高精度達到±0.1℃（露點溫度），一般精度可達到±0.5℃以內(nèi)。 3、電傳感器式露點儀 采用親水性材料或憎水性材料作為介質(zhì)，構(gòu)成電容或電阻，在含水份的氣體流經(jīng)后，介電常數(shù)或電導率發(fā)生相應變化，測出當時的電容值或電阻值，就能知道當時的氣體水份含量。建立在露點單位制上設計的該類傳感器，構(gòu)成了電傳感器式露點分析儀。目前國際上最高精度達到±1.0℃（露點溫度），一般精度可達到±3℃以內(nèi)。

對于高純氣體，微量水含量是評價其質(zhì)量的重要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，因為氣體的水分不僅能夠溶解一些氣體組分，而且能夠與某些組分發(fā)生化學反應生成酸或堿，腐蝕設備或儀器，乃至影響最終產(chǎn)品的質(zhì)量。因此，只有準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質(zhì)量，從而為各領域研究提供可靠的技術基礎。 水分子是一種極性較強的分子，不僅容易被容器壁吸附，而且在氣體中的數(shù)量隨溫度和壓力不同變化很大，故氣體中水分的測定不同于一般組分的測定，它通常不能和其它組分一起同時檢測，所以要使用測定水分的專用儀器進行測定

露點儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。