對于高純氣體，微量水含量是評價其質量的重要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，因為氣體的水分不僅能夠溶解一些氣體組分，而且能夠與某些組分發生化學反應生成酸或堿，腐蝕設備或儀器，乃至影響最終產品的質量。因此，只有準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質量，從而為各領域研究提供可靠的技術基礎。 水分子是一種極性較強的分子，不僅容易被容器壁吸附，而且在氣體中的數量隨溫度和壓力不同變化很大，故氣體中水分的測定不同于一般組分的測定，它通常不能和其它組分一起同時檢測，所以要使用測定水分的專用儀器進行測定

露點儀的測量方法——冷鏡法 也是一種經典的測量方法。讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(冷凝鏡上有液滴析出)，測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃;缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生'偽結露'造成測量誤差。

露點儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。