對于高純氣體，微量水含量是評價其質量的重要指標之一。幾乎所有的高純氣體都對水分有嚴格的要求，因為氣體的水分不僅能夠溶解一些氣體組分，而且能夠與某些組分發生化學反應生成酸或堿，腐蝕設備或儀器，乃至影響最終產品的質量。因此，只有準確測量和嚴格控制高純氣體中水分含量，才能保證高純氣體的質量，從而為各領域研究提供可靠的技術基礎。 水分子是一種極性較強的分子，不僅容易被容器壁吸附，而且在氣體中的數量隨溫度和壓力不同變化很大，故氣體中水分的測定不同于一般組分的測定，它通常不能和其它組分一起同時檢測，所以要使用測定水分的專用儀器進行測定

露點儀的測量方法——電解法 就是將干燥劑吸收的水分經電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，通過檢測該電流即可測得樣氣的濕度。該方法彌補了重量法的缺點，測量量程可達-80℃以下，且精度較好，價格便宜;缺點是電解池氣路需要在使用前干燥很長時間，且對氣體的腐蝕性及清潔性要求較高。

露點儀的測量方法——冷鏡法 也是一種經典的測量方法。讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態(冷凝鏡上有液滴析出)，測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃;缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生'偽結露'造成測量誤差。