在高純氣體中，雜質水常用露點表示。露點是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現露或霜，測量此時的溫度，即為該氣體的露（霜）點。測量其露點溫度便可知氣體濕度值。 露點儀是采用此方法設計的濕度計，具有準確度高，測量范圍寬的特點。高精密露點儀是目前普遍采用的一種標準儀器。

用露點儀測量壓縮空氣露點時應注意什么？ 使用露點儀變送器測量空氣露點，特別是當測量的空氣含水量非常低時，操作應非常小心和耐心。氣體取樣設備和連接管道應干燥（至少比被測氣體干燥），管道連接應完全密封，氣體流量應按規定選擇，預處理時間應足夠長。一點點粗心會帶來很大的錯誤。 實驗表明，以五氧化二磷為電解液的“微水分儀”測量經冷干燥器處理的壓縮空氣的“壓力露點”存在較大誤差。這是由于試驗期間壓縮空氣的“二次電解”，導致讀數高于實際值。經冷干燥器處理的壓縮空氣的含水量約為1000ppm，超出儀器的測量范圍。因此，當測量經過冷干燥器處理的壓縮空氣的露點時，不應使用該儀器。

露點儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。