在高純氣體中，雜質(zhì)水常用露點(diǎn)表示。露點(diǎn)是指含水分的氣體冷卻到水汽飽和時(shí)的溫度。即用等壓冷卻的方法使被測氣體中的水蒸氣開始出現(xiàn)露或霜，測量此時(shí)的溫度，即為該氣體的露（霜）點(diǎn)。測量其露點(diǎn)溫度便可知?dú)怏w濕度值。 露點(diǎn)儀是采用此方法設(shè)計(jì)的濕度計(jì)，具有準(zhǔn)確度高，測量范圍寬的特點(diǎn)。高精密露點(diǎn)儀是目前普遍采用的一種標(biāo)準(zhǔn)儀器。

露點(diǎn)儀的測量方法——重量法 是一種經(jīng)典的測量方法。讓所測樣氣流經(jīng)某一干燥劑，其所含水分 ** 燥劑吸收，精確稱取干燥劑吸收的水分含量，與樣氣體積之比即為樣氣的濕度。該方法的優(yōu)點(diǎn)是精度高，最大允許誤差可達(dá)0.1%;缺點(diǎn)是具體操作比較困難，尤其是必須得到足夠量的吸收水質(zhì)量(一般不小于0.6克)，這對于低濕度氣體尤其困難，必須加大樣氣流量，結(jié)果會導(dǎo)致測量時(shí)間和誤差增大(測得的濕度不是瞬時(shí)值)。 因而該方法只適合于測量露點(diǎn)-32℃以上的氣體，可以說市場上純粹利用該方法測濕度的儀器較少。 由以上分析可知，重量法的關(guān)鍵是怎樣精確測量干燥劑吸收的水分含量，因?yàn)橹苯訙y量比較困難，由此衍生了兩種間接測量吸收水含量的方法。

露點(diǎn)儀的測量方法——阻容法 是一種不斷完善的濕度測量方法。利用一個(gè)高純鋁棒，表面氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網(wǎng)狀金膜，金膜與鋁棒之間形成電容，由于氧化鋁薄膜的吸水特性，導(dǎo)致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。