旋轉(zhuǎn)式真空泵: 此類產(chǎn)品是利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子部件的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)將氣體吸入、壓縮并排出的。它大致有如下幾種分類:油封式真空泵:它是利用真空泵油密封泵內(nèi)各運(yùn)動(dòng)部件之間的間隙,減少泵內(nèi)有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩_@種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵等。 此類產(chǎn)品的極限真空一般為0.05 pa~0.5pa左右,正常工作壓力為0.5pa~103pa甚至更高。主要用于抽除空氣或含有少量可凝性氣體,真空度要求較高的工藝流程。如真空金屬冶煉、食品真空冷凍干燥、真空鍍膜、電力電容器行業(yè)的真空干燥等工藝。 液環(huán)真空泵:將帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心安裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí),把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的液環(huán),液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的幾個(gè)小的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菸艢馇弧9ぷ饕和ǔ樗⒂突蚱渌惋柡鸵后w。
⑶擴(kuò)散泵:以低壓高速蒸氣流(油或汞等蒸氣)作為工作介質(zhì)的噴射真空泵。氣體分子擴(kuò)散到蒸氣射流中,被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的,這種泵適于在分子流狀態(tài)下工作。可分為: ①自凈化擴(kuò)散泵:泵液中易揮發(fā)的雜質(zhì)經(jīng)專門的機(jī)械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴(kuò)散泵。 ②分餾式擴(kuò)散泵:這種泵具有分餾裝置,使蒸氣壓強(qiáng)較低的工作液蒸氣進(jìn)入高真空工作的噴嘴,而蒸氣壓強(qiáng)較高的工作液蒸氣進(jìn)入低真空工作的噴嘴,它是一種多級(jí)油擴(kuò)散泵。 ⑷擴(kuò)散噴射泵:它是一種有擴(kuò)散泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級(jí)或多級(jí)噴嘴串聯(lián)組成的一種動(dòng)量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。 ⑸離子傳輸泵:它是將被電離的氣體在電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用下,輸送到出口的一種動(dòng)量傳輸泵。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵。 2)吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3)吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過(guò)電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。