利用機械運動（轉動或滑動）來獲得真空的泵，均稱為機械真空泵。機械真空泵按其工作原理和結構特點可分為下列幾種： 1、變容真空泵： 它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣的目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種泵分為往復式及旋轉式二種類型。 （1）往復式真空泵： 利用泵腔內活塞往復運動，將氣體吸入、壓縮并排出。該產品又稱為活塞式真空泵。 此類產品的極限真空一般為1330pa左右，正常工作壓力為1330pa～105pa。主要用于抽除空氣或含有少量可凝性氣體，真空度要求不高的工藝流程。如真空吸塑成型、真空濃縮、真空浸漬、物料的真空輸送等工藝流程。

⑶擴散泵：以低壓高速蒸氣流（油或汞等蒸氣）作為工作介質的噴射真空泵。氣體分子擴散到蒸氣射流中，被送到出口。在射流中氣體分子密度始終是很低的，這種泵適于在分子流狀態下工作。可分為： ①自凈化擴散泵：泵液中易揮發的雜質經專門的機械輸送到出口而不回到鍋爐中的一種油擴散泵。 ②分餾式擴散泵：這種泵具有分餾裝置，使蒸氣壓強較低的工作液蒸氣進入高真空工作的噴嘴，而蒸氣壓強較高的工作液蒸氣進入低真空工作的噴嘴，它是一種多級油擴散泵。 ⑷擴散噴射泵：它是一種有擴散泵特性的單級或多級噴嘴與具有噴射真空泵特性的單級或多級噴嘴串聯組成的一種動量傳輸泵。油增壓泵即屬于這種型式。 ⑸離子傳輸泵：它是將被電離的氣體在電磁場或電場的作用下，輸送到出口的一種動量傳輸泵。

這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。 1）吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2）吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3）吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。