真空度指標是各國生產商努力追求的主要指標,它反應了相應的機械加工、密封技術、材料科學等領域的整體實力,也是生產商獲取利潤的重要手段。要提高真空度指標,就必須有更高的密封條件,因此就需要采用尺寸更精確、材料性能更優異的零部件,于是生產成本就大幅度提高了。而且價格的增幅遠遠大于真空度指標的增幅。當然,抽氣速率的提高也會引起價格的攀升,但其增幅不大。因此,選擇hilintec微型真空泵時需要認真考慮真空度指標、抽氣速率指標、自己的使用情況等,這樣才能最好地兼顧使用性能和成本。 高真空度的微型泵由于采用了非常精密的密封零件,因此它對工作環境的清潔條件、溫度參數、介質成分等均有更高的要求。
②干式真空泵:它是一種不用油類(或液體)密封的變容真空泵。 ③液環式真空泵:帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內,當它旋轉時,把液體(通常為水或油)拋向泵殼形成泵殼同心的液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小容積,故亦稱旋轉變容真空泵。 ④羅茨真空泵:泵內裝有兩個相反方向同步旋轉的雙葉形或多葉形的轉子,轉子間、轉子同泵殼內壁之間均保持一定的間隙。它屬于旋轉變真空泵。機械增壓泵即為這種型式的真空泵。 2)動量傳輸泵 這種泵是依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣體或氣體分子,使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。具體可分為下述幾種類型。
這種泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。 1)吸附泵 它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。 2)吸氣劑泵 它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種型式。 3)吸氣劑離子泵 它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。