真空設備對油污染的要求，如果要求不嚴格時，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求，真空泵對環境的影響，真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施，成本因素，一次性成本，包括真空泵本身的成本、周邊管路配套的成本;綜合使用成本，包括日常運行維護成本、維修成本以及使用壽命成本。

真空泵維修，問題：真空泵不能啟動：主要表現為真空泵加電后不能啟動運轉，這時應首先檢查真空泵的電路部分，如保險管是否燒毀、電路部分有沒有元氣件燒壞，在排除電路部分的故障后，應考慮以下兩個因素：，長時間使用引起真空泵的旋片磨損或轉子內的彈簧張力不足,，導致吸氣室和排氣室隔離不嚴，從而引起真空泵的抽真空性能下降，這時應當更換旋片和彈簧，并清洗轉子和泵腔；檢查排氣閥門，觀看其動作是否失靈，導致排氣不暢，必要時應更換排氣閥門。

泵的前級壓強，真空泵的較大前級壓強，真空泵口較大前級壓強單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強，真空泵的較大工作壓強，真空泵的較大工作壓強單位是Pa，它是指對應較大抽氣量的入口壓強，在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞，壓縮比，壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比，水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。