真空設備對油污染的要求，如果要求不嚴格時，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求，真空泵對環境的影響，真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響，若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施，成本因素，一次性成本，包括真空泵本身的成本、周邊管路配套的成本;綜合使用成本，包括日常運行維護成本、維修成本以及使用壽命成本。

軸承損壞就更換軸承；電機線圈燒毀則應維修電機，重新繞制定子線圈，軸承和線圈損壞嚴重時，就需更換電機了，旋片卡阻：主要表現為旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大，致使電機無法帶動旋片，原因是旋片變形，轉子內的彈簧張開后不能復位，或彈簧壓力和旋片自身離心力的合力過大，導致旋片與泵腔內表面的摩擦阻力過大，真空泵維修，問題：抽不到真空泵的極限真空度：首先檢查真空系統的氣密性，看是否有輕微漏氣。

泵的前級壓強，真空泵的較大前級壓強，真空泵口較大前級壓強單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強，真空泵的較大工作壓強，真空泵的較大工作壓強單位是Pa，它是指對應較大抽氣量的入口壓強，在此壓強下，泵能連續工作而不惡化或損壞，壓縮比，壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強與入口壓強之比，水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環境條件下，氣鎮泵在連續工作時能抽除的水蒸氣質量流量。