流量控制器可用于控制各種氣體，包括腐蝕性氣體和特殊氣體。但需要注意的是，對于腐蝕性氣體和特殊氣體，應適當選擇型號和密封材料。用戶在訂貨時，需要向供應商特別說明氣體的用途，以免因選型或密封材料選擇不當而造成嚴重損失。

成都小口徑質量流量計

氣體質量流量控制器與工作氣體接觸的濕材料一般為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料，密封材料分為金屬密封和橡膠密封兩大類。金屬密封材料通常是耐腐蝕材料，如不銹鋼、金或鎳。帶金屬密封的MFC原則上可用于任何氣體，包括各種腐蝕性氣體和特殊氣體。金屬密封MFC推薦用于高腐蝕性氣體，如MOCVD中使用的三溴化硼、三氯化硼、氟化氫和金屬氧化物氣體。

由于金屬密封MFC價格較高，通常在要求不高的場合使用橡膠密封MFC。除非另有說明，MFC采用氟橡膠密封，可用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體，如氯化氫等鹵素干氣。其他一些特殊的腐蝕性氣體需要特殊的橡膠。需要耐氨氣氨橡膠，如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠；有機溶劑氣氛(丙酮、甲苯等。)-需要硅橡膠；三溴化硼、三氯化硼、氟化氫等。-需要全氟橡膠。