質量流量控制器是采用感熱式測量,通過分體分子帶走的分子質量多少從而來測量流量,因為是用感熱式測量,所以不會因為氣體溫度、壓力的變化從而影響到測量的結果。動態配氣法是將已知濃度的原料氣,以較小的流量,恒定不變地送入氣體混合室中,再通過混合室,同時將凈化過的潔凈氣體以較大的流量恒定不變地與原料氣混合稀釋。稀釋后的混合氣連續不斷地從混合室流出供使用。準確計量原料氣流和稀釋氣流之比可得稀釋倍數。混合氣的濃度可簡單地從稀釋倍數計算出來,調節氣流比可以得到所需濃度的標準氣體。
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流體的體積是流體溫度和壓力的函數,是一個因變量,而流體的質量是一個不隨時間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。質量流量控制器是不能控制流量的,它只能檢測液體或者氣體的質量流量,通過模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是,質量流量控制器,是可以檢測同時又可以進行控制的儀表。質量流量控制器本身除了測量部分,還帶有一個電磁調節閥或者壓電閥,這樣質量流量控制本身構成一個閉環系統,用于控制流體的質量流量。
自動配氣裝置設備較復雜,但可獲得連續的標準氣,若稀釋氣經過嚴格處理,標氣的空白值很低。用連續稀釋法可配置低濃度的標氣,同一種設備可配置不同的標氣。所以質量流量計是自動配氣裝置的基礎,動態配氣儀是質量流量計的升級版。動態配氣儀即可做單路的質量流量計來使用,也可以動態配氣,使用更多元化,適用于對氣體流量測控有多重要求的客戶。