將找到的參考譜圖復(fù)制粘貼到Avantage軟件中一個(gè)新的窗格，圖2，4參考譜圖放入新的窗格中，選中要擬合的圖譜，點(diǎn)擊調(diào)出NLLSF擬合工具，5所示，選中待分析的譜圖（即有Ni元素俄歇峰干擾的Co2p的窄掃譜圖），調(diào)出NLLSF擬合工具，5調(diào)出NLLSF擬合工具，答：一般情況，我們?cè)趜ui初擬合的時(shí)候都是設(shè)置成一樣的，包括自旋軌道分裂峰，如果存在特殊情況，峰位相差較大，比如Ti2p、C=O是可以放開的，只要在0。

此外，EDS只能檢測(cè)元素的組成與含量，不能測(cè)定元素的價(jià)態(tài)，且EDS的檢測(cè)限較高（含量＞2%），即其靈敏度較低，而XPS既可以測(cè)定表面元素和含量，又可以測(cè)定表其價(jià)態(tài)，成都XPS的靈敏度更高，很低檢測(cè)濃度＞0，1%，老師，我感覺XPS數(shù)據(jù)分析不大準(zhǔn)，答：不少人說XPS分析不準(zhǔn)，其實(shí)很多時(shí)候，不是儀器原因，而是我們的知識(shí)儲(chǔ)備影響著我們的判斷，與右邊標(biāo)準(zhǔn)譜圖對(duì)比，很右邊是衛(wèi)星峰，而左圖直接標(biāo)示為Ni(OH)2和NiO。

當(dāng)用XPS測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí)，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢(shì)Vs，對(duì)電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測(cè)量的結(jié)合能偏離真實(shí)值，造成測(cè)試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過分峰擬合之后，就可以用來確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對(duì)比來得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。