全譜分析一般用來(lái)說(shuō)明樣品中是否存在某種元素，這是因?yàn)槟芗?jí)之間的差距太小，用小通能測(cè)XPS可以得到兩個(gè)分裂峰，但是用高通能的時(shí)候發(fā)現(xiàn)只有一個(gè)峰了，P、Al也是如此，四川XPS的很小分辨一般在0，5eV以上，因此分辨不出來(lái)，看起來(lái)只有一個(gè)峰了，這個(gè)時(shí)候可以用兩個(gè)峰，也可以用一個(gè)峰來(lái)進(jìn)行擬合，答：不是，如果本身的碳材料是sp2，那就要校正到284eV，且擬合時(shí)要增加不對(duì)稱參數(shù)，氧化石墨烯，摻雜石墨烯等常在284~284。

實(shí)用XPS定量分析方法可以概括為標(biāo)樣法、元素靈敏度因子法和一級(jí)原理模型，目前XPS定量分析多采用元素靈敏度因子法，該方法利用特定元素譜線強(qiáng)度作參考標(biāo)準(zhǔn)，測(cè)得其它元素相對(duì)譜線強(qiáng)度，求得各元素的相對(duì)含量，根據(jù)譜峰形狀，結(jié)合文獻(xiàn)對(duì)O1s進(jìn)行峰擬合，分別是530eV左右的ZnO晶格O的峰(OL)、531，XPS常用AlKα或者M(jìn)gKαX射線為激發(fā)源，能檢測(cè)周期表中除氫、氦以外的所有元素，一般檢測(cè)限為0。

當(dāng)用XPS測(cè)量絕緣體或者半導(dǎo)體時(shí)，由于光電子的連續(xù)發(fā)射而得不到電子補(bǔ)充，使得樣品表面出現(xiàn)電子虧損，這種現(xiàn)象稱為“荷電效應(yīng)”，荷電效應(yīng)將使樣品表面出現(xiàn)一穩(wěn)定的電勢(shì)Vs，對(duì)電子的逃離有一定束縛作用，因此荷電效應(yīng)將引起能量的位移，使得測(cè)量的結(jié)合能偏離真實(shí)值，造成測(cè)試結(jié)果的偏差，高分辨譜經(jīng)過(guò)分峰擬合之后，就可以用來(lái)確定元素的化學(xué)態(tài)了，或者通過(guò)反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對(duì)比來(lái)得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等。