電子探針射線顯微剖析和場發(fā)射掃描電鏡有什么不同？各自優(yōu)缺陷是什么？

簡單說說，可能不標(biāo)準(zhǔn)。所謂的場發(fā)射掃描電鏡是指，相較于傳統(tǒng)的鎢燈絲光源而言，其采用更了為先進(jìn)的肖脫基場發(fā)射光源。采用場發(fā)射光源后電子束能量更強(qiáng)，二次電子相（也就是我們平常所說的掃描照片）愈加明晰，放大倍數(shù)在理想的狀況下能夠到達(dá)10萬倍以上。同時，在停止EBSD的中也具有相當(dāng)?shù)膬?yōu)勢。電子探針，即EPMA, 是一種元素成分的手腕，其根本原理是經(jīng)過激起物質(zhì)的本征X射線，獲取信號停止元素標(biāo)定的。

長沙場發(fā)射掃描電鏡檢測

單純的從功用上來講，電子探針能夠看做掃描電鏡的一個功用，即能譜成分（EDS，EDX）。在點掃的形式下，電子探針精度更高，同時打的點更小，更為精準(zhǔn)。假如是停止線掃、面掃，EPMA也會有相對的分辨率優(yōu)勢。值得指出的是，鎢燈絲/場發(fā)射兩種掃描電鏡在EDS/EDX上區(qū)別不大，場發(fā)射電鏡普通沒有明顯優(yōu)勢。當(dāng)然，這也要分離詳細(xì)的狀況停止剖析。或者說：EPMA>場發(fā)射=鎢燈絲

總結(jié)一下，你要是想測定一小塊區(qū)域（這個大小還和操作人員有關(guān)）的準(zhǔn)確成分，能夠選用EPMA。這個設(shè)備普通也自配一個掃描電鏡（用于），但精度較低，沒有掃描電鏡其他功用（BSE、EBSD等）。