特種氣體依據(jù)氣體性質(zhì)不同普通分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；依據(jù)供給包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

??一、簡單特氣供氣系統(tǒng)

??簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體資料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單，通常不需求連續(xù)性供氣，對氣體供給系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

??由于氣體流量小，不經(jīng)常運(yùn)用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。保送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體裝備緊急迫斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些以至用單瓶系統(tǒng)。全部氣體共用一個(gè)氣體房，以至沒有氣體房，特氣鋼瓶和保送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。假如沒有特別風(fēng)險(xiǎn)氣體普通共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在平安隱患。

??二、常規(guī)特氣供氣系統(tǒng)

??常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸大范圍集成電路廠，50MW以下的太陽能電池消費(fèi)線，發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等范圍的電子行業(yè)。對氣體純度控制的請求不苛刻，系統(tǒng)裝備在滿足平安的前提下盡量簡單，儉省投資。

??特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣保送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣面子板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器，可完成自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾撸詣?dòng)真空輔助放空；多重平安防護(hù)措施，走漏偵測，遠(yuǎn)程緊急迫斷；專用氮?dú)獯祾邅碓吹鹊取MB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾撸恢窔鈩?dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)依據(jù)氣體性質(zhì)停止分類。