蓄熱催化氧化是20世紀70年代REECO（Research-CotteII）推出了處置VOCs的蓄熱氧化安裝RTO（RegenerativTherOxi-dizers）,早期的RTOs采用馬鞍型陶瓷蓄熱體，熱回收效率僅有85%左右，后來又采用了TYPAK蓄熱體，將熱回收效率僅有85%左右，后來又采用了TYPAK蓄熱體，將熱回收效率進步到95%。

無論是由馬鞍型陶瓷蓄熱體還是由TYPAK蓄熱體組成的蓄熱床，都形成了很大壓力損失，目前RTOs采用的規整陶瓷蓄熱床很好的處理了這個問題，它不只大大降低了氧化系統的壓力損失，而且維持了較高的熱回收率，設備采用流向變換操作，經過催化熄滅將廢氣中的碳氫化合轉化為CO2和H2O，使有毒有害的廢氣變為無毒無害的氣體，從而使污染得到管理。

采用熄滅法處置時，應裝置減壓閥，控制可燃氣的速度，盡量使氣體漸漸放出，使之在熄滅安裝內充沛熄滅掉，處置毒性氣體時，工作人員必需戴防毒面具、手套等勞維護具與處置工作無關的人員，制止進入毒氣處置區，依據同性互相排擠、異性互相吸收的原理，帶電粒子狀涂覆介質在電場力的作用下，沿電力線定向流向帶正電荷的涂覆物體外表，堆積出一層平均、附著力強的薄膜。