蓄熱催化氧化是20世紀70年代REECO（Research-CotteII）推出了處置VOCs的蓄熱氧化安裝RTO（RegenerativTherOxi-dizers）,早期的RTOs采用馬鞍型陶瓷蓄熱體，熱回收效率僅有85%左右，后來又采用了TYPAK蓄熱體，將熱回收效率僅有85%左右，后來又采用了TYPAK蓄熱體，將熱回收效率進步到95%。

高溫凈化氣經過后續蓄熱床，熱量被吸收，凈化氣溫度降低而被排出，同時后續蓄熱床溫度升高，高溫等離子燃燒技術能夠處置高濃度、成分復雜、易燃易爆、固體油性物質的工業廢氣，關于噴塑時產生的粉塵，普通是需求立式除塵器+二級除塵器停止過濾，產生的有機廢氣的處置辦法也不復雜，能夠選擇前期投入少一點但是后續持續產生費用的活性炭吸附箱。

采用熄滅法處置時，應裝置減壓閥，控制可燃氣的速度，盡量使氣體漸漸放出，使之在熄滅安裝內充沛熄滅掉，處置毒性氣體時，工作人員必需戴防毒面具、手套等勞維護具與處置工作無關的人員，制止進入毒氣處置區，依據同性互相排擠、異性互相吸收的原理，帶電粒子狀涂覆介質在電場力的作用下，沿電力線定向流向帶正電荷的涂覆物體外表，堆積出一層平均、附著力強的薄膜。