由于活性炭表面通常含有大量含氧基團，一般活性炭吸水能力強，與有機物競爭吸附，活性炭含有灰分（金屬氧化物），可提高其吸水能力，采用新型吸附材料——活性炭纖維（ACF）作為吸附劑的吸附法是近年來發展起來的一種新型有機廢氣回收方法，解吸完成后，將過濾后的外界空氣通過風機送入吸附器進行干燥，使活性炭纖維床冷卻，除去殘留蒸汽。

無論是由馬鞍型陶瓷蓄熱體還是由TYPAK蓄熱體組成的蓄熱床，都形成了很大壓力損失，目前RTOs采用的規整陶瓷蓄熱床很好的處理了這個問題，它不只大大降低了氧化系統的壓力損失，而且維持了較高的熱回收率，設備采用流向變換操作，經過催化熄滅將廢氣中的碳氫化合轉化為CO2和H2O，使有毒有害的廢氣變為無毒無害的氣體，從而使污染得到管理。

采用熄滅法處置時，應裝置減壓閥，控制可燃氣的速度，盡量使氣體漸漸放出，使之在熄滅安裝內充沛熄滅掉，處置毒性氣體時，工作人員必需戴防毒面具、手套等勞維護具與處置工作無關的人員，制止進入毒氣處置區，依據同性互相排擠、異性互相吸收的原理，帶電粒子狀涂覆介質在電場力的作用下，沿電力線定向流向帶正電荷的涂覆物體外表，堆積出一層平均、附著力強的薄膜。