由于活性炭表面通常含有大量含氧基團，一般活性炭吸水能力強，與有機物競爭吸附，活性炭含有灰分（金屬氧化物），可提高其吸水能力，采用新型吸附材料——活性炭纖維（ACF）作為吸附劑的吸附法是近年來發展起來的一種新型有機廢氣回收方法，解吸完成后，將過濾后的外界空氣通過風機送入吸附器進行干燥，使活性炭纖維床冷卻，除去殘留蒸汽。

工作原理：揮發性有機廢氣經系統風機推進或者吸入RTO入口集風管，切換閥引導氣體進入蓄熱床，氣體在經過陶瓷蓄熱床到熄滅室的過程中被逐步預熱，在熄滅室高溫（約800℃）氧化合成，凈化后的高溫尾氣在經過另一陶瓷蓄熱床時會將熱量留在其中，使得出口處的蓄熱床得到加熱，凈化尾氣得到降溫，使得出口溫度略高于RTO入口溫度，通常狀況下溫升高不超越50-70℃。

采用熄滅法處置時，應裝置減壓閥，控制可燃氣的速度，盡量使氣體漸漸放出，使之在熄滅安裝內充沛熄滅掉，處置毒性氣體時，工作人員必需戴防毒面具、手套等勞維護具與處置工作無關的人員，制止進入毒氣處置區，依據同性互相排擠、異性互相吸收的原理，帶電粒子狀涂覆介質在電場力的作用下，沿電力線定向流向帶正電荷的涂覆物體外表，堆積出一層平均、附著力強的薄膜。