1、吸收設備　　吸收法采用低揮發或不揮發性溶劑對VOCs進行吸收，再利用VOCs和吸收劑物理性質的差異進行分離。
2、吸附設備　　在用多孔性固體物質處理流體混合物時，流體中的某一組分或某些組分可被吸表面并濃集其上，此現象稱為吸附。

3、RTO/RCO 用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。
4、工業有機廢氣的低溫等離子體的治理設備　　等離子體就是處于電離狀態的氣體，其英文名稱是plasma，它是由美國科學 muir，于1927年在研究低氣壓下汞蒸氣中放電現象時命名的。

不同類型的廢氣，使用的處理方法也有所不同，還有不少組合工藝，常用的比如：有機廢氣吸附-脫附-冷凝回收技術工藝、吸附濃縮+催化氧化技術工藝等等。